真空系統中上下游模式同時使用的雙向控制新技術
3． 下游控制模式（Downstream Model）
如圖3－1所示，下游控制模式是一種控制真空系統內部壓力的方法，其中抽氣速度是可變的，通常由真空泵和腔室之間的控制閥實現。
圖3－1 下游控制模式示意圖
下游控制模式是維持真空系統下游的壓力，增加流量以增加壓力，減少流量以減少壓力，因此，這稱為直接作用，這種控制器配置通常稱為標準壓力調節器。
在真空度（壓力）下游模式控制期間，控制閥將以特定的速率限制真空泵抽出氣體，同時還與控制器通信。如果從控制器接收到不正確的輸出電壓（意味著壓力不正確），控制閥將調整抽氣流量。壓力過高，控制閥會提供抽氣流量，壓力過低，控制閥會降低流量。
下游模式具有以下特點：
（1）下游模式作為目前最常用的控制模式，通常在各種條件下都能很好地工作。
（2）但在下游模式控制過程中，其有效性有時可能會受到“外部”因素的挑戰，如入口氣體流速的突然變化或等離子體事件的開啟或關閉。此外，某些流量和壓力的組合會迫使節流閥在等于或超過其預期控制范圍的極限的位置上運行。在這種情況下，精確或可重復的壓力控制都是不可行的。或者，壓力控制可能是可行的，但不是以快速有效的方式，結果造成產品的產量和良率受到影響。
（3）在下游模式中，會在更換氣體或等待腔室內氣體沉降時引起延遲。
4． 雙向控制模式（Bidirectional Model）
通過上述兩種控制模式的特點可以看出，兩種模式各有優缺點。目前在真空度控制中常用的方法是以下游控制模式為主控方法，同時在真空系統的上游設置幾個控制檔位來控制進氣流量，由此來最大限度發揮兩種模式的優點，但這種控制方式還無法實現全自動化。
隨著自動化控制技術的發展，目前上海依陽公司已經開發出雙向自動控制技術，其結構圖4－1如所示。
圖4－1 雙向控制模式示意圖
這種雙向控制模式可以最大限度發揮控制優勢，節省時間和成本，并提高真空工藝的效率和質量。
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